長久以來，蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM一直是高分辨力與寬樣品適用性的代名詞。無論您從事的研究方向是什么，GeminiSEM都可以滿足您的需求。創新的電子光學系統和新型樣品腔室設計可讓您擁有更佳的圖像質量、易用性和靈活性。蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM兼具出色的成像和分析能力，不依靠浸沒式物鏡依然可以輕松實現1 kV以下的亞納米級分辨力。以下內容可以使您進一步了解Gemini電子光學系統的三大獨特設計，探索蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM的應用潛能。

• 更靈活的成像工具 – 配備Gemini 1鏡筒的蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 360可以實現各種樣品的高分辨成像、分析和各種應用需求的拓展。

• 更強大的分析能力 - 配備Gemini 2鏡筒的蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 460可應對更加復雜的分析工作。連續可調的大束流使您可以在成像和分析條件之間無縫切換。

• 更高端的表征體驗 - 蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 560配有Gemini 3鏡筒及其新型電子光學引擎，讓它在各種工作條件下均可發揮該系列最出色的分辨率特性。

產品系列

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蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 360

蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 460

蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 560

斯圖加特大學應用量子技術中心ZAQuant的Mario Hentschel博士描述了該小組正在研究的課題和應用、在實驗室中面臨的挑戰以及如何利用蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 560應對這些挑戰。

“我們正在研究光學感應和檢測應用中最復雜的微結構和納米結構。因此，我們必須在納米尺度檢查和表征我們的器件。深入了解樣品信息不僅是過程控制和優化的核心，在解釋感應和檢測方案中涉及的局部現象時也必不可少。除了單純的表面形貌信息外，我們也對納米材料組成分以及有意和無意的局部雜質感興趣。

"所有這些應用都要求電子顯微鏡具有高分辨率與樣品適用性。蔡司場發射掃描電鏡GeminiSEM 560可以很好地兼顧這兩點。它提供豐富的探測器選擇，從而能夠對表面高低起伏、材料襯度、表面邊緣以及樣品的所有不同特征進行成像和突出顯示。在日常工作中，我們經常面對差異極大的樣品如形狀大小不同材料組成不同，給顯微表征帶來了很大的挑戰。我們能夠對要求極為嚴苛且高難度的樣品（例如高度絕緣的聚合物和塑料）拍出高質量的圖像，使荷電效應的影響極小化。該系統可以在低倍和極高的放大倍率下成像。在不久的將來，場發射掃描電鏡GeminiSEM 560將被安裝在斯圖加特應用量子技術中心（ZAQuant）新建研究大樓的潔凈室中。ZAQuant的主要研究人員來自物理、機械、電氣工程、化學等不同領域，其應用千差萬別，因此不僅要保持優異的成像性能，還必須確保樣品適用性。因此，場發射掃描電鏡GeminiSEM 560無疑將成為實驗表征的利器。”

 DE.Mario Hentschel博士，德國斯圖加特大學第4物理研究所和應用量子技術中心。