氬氣的作用不僅是保護氣還是載氣，如果氣體雜質含量太大，不僅降低光譜儀壽命，而且對測量結果影響也比較大，要求使用純度達到99.995%的工業氬氣，氬氣純度最好為99.999%以上。氬氣雜質中對光譜儀分析有影響的主要成分是癢和水分。氧能吸收部分元素的譜線，使其強度值降低，給測定帶來影響，特別是測定低含量的樣品時尤為明顯。不同類型樣品，對氧含量要求略有不同，一般情況下，多基體溶液、鑄鐵樣品、含Si和Al高的鋼樣、Al、Mg、Zr和Ti基材料，氧允許量（體積分數）不大于0.5*10﹣6.Ni基材料和一般鋼樣，氬氣中氧允許量（體積分數）不大于2.5*10﹣6、若分析有色金屬Zn、Cu、Pb，Sn、Cd及金屬，氧允許量（體積分數）不大于4.0*10﹣6。另外氬氣中氧氣，水分，灰塵顆粒濃度超標，造成光譜儀無法點火，堵塞氣路燒炬管或測定出來的數據不穩定，精密度偏大等現象，特別是測定低含量的元素。例如氬氣的水分含量（體積分數）大于0.5*10﹣6，ICP光譜儀將出現點火困難，用高純氣點燃后再將工作氣切換到上述氣體，出現火焰時有跳動，強度值波動很大等現象；另外，如果用純度不夠的氬氣進行光室驅氣，會導致紫外區測量靈敏度下降和數據穩定性降低，比如All67.120nm和P178.287nm。嚴重時將導致損壞氣體控制模塊或者導致測量過程中斷，在CID做檢測器的光譜儀器中，水分含量最高的氬氣會導致檢測器表面結霜，影響測量結果，甚至會將CID做檢測器損壞，造成絕大的經濟損失。在歐美均有光譜儀純專用氬氣供應，類似我國的高純氬（99.999%）當氬氣約純說明其他雜質氣體越少，也越能保證結果的準確性。一般99.999%氬氣就可以達到要求了。不然在顯示界面的光強值會很低，則分析數據也不能采用了。